8月3日晚间微导纳米(688147)公告，公司拟向不特定对象刊行可转债，召募资金总和不逾越11.7亿元（含11.7亿元），扣除刊行用度后，将一起投资于半导体薄膜千里积开采智能化工场设立形势、研发履行室扩建形势及补充流动资金。

微导纳米是一家面向巨匠的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司变成了以ALD本事为中枢，CVD等多种真空薄膜本事梯次发展的居品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜千里积开采的研发、出产与销售，向下旅客户提供顶端薄膜千里积开采、配套居品及工作。

在半导体规模内，该公司是国内首家胜仗将量产型High-k原子层千里积开采行使于集成电路制造前说念出产线的国产开采厂商，是国内首批胜仗开发并参加产业链中枢厂接洽产线的硬掩膜化学气相千里积开采（CVD）国产厂商，亦然行业内当先为新式存储提供薄膜千里积本事支合手的开采厂商之一。

据流露，此番微导纳米拟使用本次召募资金6.43亿元，用于半导体薄膜千里积开采智能化工场设立形势。形势推论地址位于江苏省无锡市新吴区内，投资总和为6.7亿元，拟野心设立先进的出产车间，购置先进出产开采和量测开采，栽植公司薄膜千里积开采的出产才调，建成后达产年的瞻望销售收入为15.65亿元。

薄膜千里积开采动作半导体制造过程中的要津开采，其性能和本事水平平直干系到芯片的质地和性能。跟着国内半导体市集的不断扩大，对薄膜千里积开采的需求也在合手续增长。但是，现在我国在高端薄膜千里积开采规模基本依赖入口，这不仅加多了出产本钱，也制约了我国半导体产业的供应链安全。

微导纳米暗示，公司勤恳于薄膜千里积开采参议，经过多年发展，变成了以原子层千里积（ALD）本事为中枢，化学气相千里积（CVD）等多种真空薄膜本事梯次发展的居品体系，粉饰多类工艺本事和居品类别。现在，公司居品照旧粉饰逻辑、存储、硅基OLED和第三代半导体等规模。连年来，受下流市集需求增长影响，公司限制赶快膨胀，销量增长赶快，公司半导体薄膜千里积开采销售额由2021的0.25亿元增长到2024年的3.32亿元，CAGR为136.21%。放荡2024年末，公司半导体规模在手订单量为15.05亿元，现存的出产才调难以支合手公司在业务限制上的膨胀，为了保证公司的居品委派质地及委派才调，公司急需扩建新的出产时局。

本形势将引进先进出产开采和考证检测开采，在加多公司产能的同期，进一步提高质控才调开云体育，保险高效舒服的委派水准；此外，本形势还将搭建粉饰出产全经由的智能处置系统，栽植公司出产撤销和运营撤销，以最大化开释公司产能。因此，本形势的设立是公司撤销策略发展操办、栽植笼统竞争力的勤勉举措。